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產(chǎn)品型號(hào)
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ZRS-4D-4L2
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產(chǎn)品名稱
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槽式制絨上料機(jī)（四通道）
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生產(chǎn)工藝
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在線式，清洗工藝
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設(shè)備功能
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將堆疊盒中的硅片裝入濕花籃，并將濕花籃輸入槽式清洗機(jī)。
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適用硅片
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單晶/多晶
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單晶多晶兼容
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外形尺寸
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156.75mm×156.75mm至166mm×166mm
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厚度
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160μm-220μm
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工裝
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堆疊盒工裝
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江松堆疊盒、可定制
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花籃工裝
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4.76×100槽濕花籃、可定制
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設(shè)備運(yùn)行能力
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實(shí)際運(yùn)行產(chǎn)能（凈產(chǎn)能）
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≥9000片/小時(shí)
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正常運(yùn)行時(shí)間（up time）
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≥98%
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平均無故障時(shí)間（MTBF）
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MTBF≥500小時(shí)
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平均故障修復(fù)時(shí)間（MTTR）
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MTTR≤1小時(shí)
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碎片率
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≤0.05% ，A片（不含本身隱裂、線痕等缺陷片）
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動(dòng)力要求
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電源
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AC220V，50HZ
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功率
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8KW
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壓縮空氣
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0.6MPA，主氣路管道直徑≥20mm，連接氣管直徑≥16mm
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環(huán)境
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溫度/濕度
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0-35℃，40%-60%
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潔凈度
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符合十萬級(jí)潔凈區(qū)規(guī)范要求
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噪音
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≤60db
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設(shè)備結(jié)構(gòu)
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整機(jī)重量
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5000KG
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外形尺寸（mm）
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長(zhǎng)×寬×高（5065mm×3178mm×2200mm）
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設(shè)備操作方位
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自動(dòng)化不分左右手
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花籃工位
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四工位
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堆疊盒工位
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三工位×4軌
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花籃裝卸方式
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人工裝卸：人工裝卸時(shí)，手工直接將花籃放置于花籃工作臺(tái)；亦可對(duì)接AGV小車。
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堆疊盒裝卸方式
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手動(dòng)裝卸
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Su Gong An 32021402000985